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  • 晶圓熱退火爐

    詳細摘要： 這款晶圓熱退火爐是半導體晶片惰性氣氛快速熱退火系統,適合晶圓的直徑為100mm,晶圓通過上部快速檢修門手動裝入腔室，并放置在熱補償石墨臺上

    產品型號：FPSEM-RTA100所在地：更新時間：2023-02-02 在線留言

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